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高精度电动耦合台

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XYZ:台面尺寸: 125x125mm行程:50mm ;最小步进可以抵达10nm以内 50nm光栅尺反响,

最大速率::20mm/s 重复精度: +/-0.01um 高端伺滑台,交织滚柱导轨

θXθYθZ:θXθY角度移动量:±2.5? 最小千分尺刻度: 23"/小格,

迅速度:0.0008度θZ角度移动量:±4? 最小千分尺刻度: 42"/小格,迅速度:0.0015度

交织滚柱导轨,三轴旋转中央设计在光纤端面,降低耦合难度,提高耦合效率

兼容种种夹具:水平光纤,笔直光纤,水平光纤阵列,笔直光纤阵列,lens夹具(真空吸附或者气动夹持)等
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